技術情報 | Tech Info
レーザー加工機の構成
レーザー加工機は以下で構成されます。
-
レーザー発振器
-
光学系
-
加工ステージ
2ヘッド加工機
レーザーを２分岐して２ヘッド加工機とすることで生産性を２倍にできます。
光学ユニット
固定光学系
-
レーザーを固定しステージで加工位置を移動します。集光性能のよいレンズを選択でき、小径スポットが得られるため微細加工ができます。ステージの位置決め精度で加工位置精度が決まるので、高い位置精度の加工が可能です。
スキャン光学系
-
ガルバノミラーでレーザービームを走査します。固定光学系に比べてビーム走査速度が速いので、生産性を圧倒的に高くできます。
-
ガルバノミラーのスキャン範囲外は、ステージを駆動してカバーすることでワーク全面を加工します。
